Высоковакуумная CVD-система с двумя зонами нагрева - фото 1 - id-p113241374

Характеристики и описание

Описание:

Высоковакуумная система CVD с двумя зонами нагрева при температуре 1200℃ оснащена трехканальным массовым расходомером, который обладает высокой точностью и надежностью. Он может точно смешивать 1~3 канала газа. Панель управления оснащена цифровым дисплеем, который интуитивно понятен и эффективен.

Высоковакуумная система CVD с двумя зонами нагрева при температуре 1200℃ состоит из трубчатой печи с двумя зонами нагрева, трехканального поплавкового расходомера и высоковакуумного молекулярного насоса. Температура в двух зонах нагрева трубчатой печи регулируется независимо с помощью прецизионного прибора контроля температуры. Регулируя температуру каждой температурной зоны, трубчатая печь может формировать два температурных градиента в зоне нагрева или длинную зону постоянной температуры. Для каждой зоны можно настроить программу повышения и понижения температуры в 30 секциях с защитой от перегрева и короткого замыкания. Фланцы с обеих сторон печной трубы оснащены цифровым вакуумметром и механическим манометром давления, которые можно использовать для контроля атмосферы в печной трубе. В то же время трубчатая печь управляется с помощью сенсорного экрана высокой четкости true color, который прост в использовании. Даже непрофессионалы могут освоить использование прибора после простого обучения, что может значительно повысить эффективность вашего эксперимента.

Характеристики:

Вакуумная трубчатая печь	Модель	CY-O1200-50IIT
	Материал трубки	Кварц высокой чистоты
	Диаметр трубки	50мм
	Длина трубки	1000мм
	Длина камеры печи	440мм
	Длина зоны нагрева	200мм+200мм
	Рабочая температура	0～1100℃
	Точность контроля температуры	±1℃
	Режим контроля температуры	Программный контроль температуры на 30 или 50 сегментов
	Вид дисплея	ЖК-дисплей
	Метод герметизации	304 вакуумный фланец из нержавеющей стали
	Фланцевое соединение	Соединитель с наконечником 1/4", соединение KF16/25/40
	Вакуум	4.4E-3Па
	Источник питания	AC:220В 50/60Гц
Система газоснабжения	Модель	CY-3Z
	Газовый канал	3-канальнный
	Измерительное устройство	Массовый расходомер газа
	Диапазон измерений	A канал: 0～100SCCM H2 газ	Примечание: Если вам нужны другие диапазоны или типы газа, вам необходимо указать это при заказе. В соответствии с конкретными требованиями заказчика может быть выбран расходомер соответствующего типа газа и диапазона.
		B канал: 0～300SCCM N2 газ
		C канал: 0～500SCCM Ar газ
	Точность измерений	±1.0% от полной шкалы
	Сопротивление трубопровода давлению	3МПа
	Перепад рабочего давления	50～300кПа
	Соединительная труба	304 нержавеющая сталь
	Газовый канал	304 игольчатый клапан из нержавеющей стали
	Спецификация соединения	Наконечниковый соединитель 1/4" для входа и выхода газа
Выхлопная система	Модель	CY-GZK103-A
	Молекулярный насос	CY-600
	Форвакуумный насос	Роторно-лопастной насос
	Скорость перекачки	Молекулярный насос: 600л/с		Полная производительность перекачки газа: 30 минут вакуум может достигать: 1,0E-3 Па
		Роторно-лопастной насос: 1,1 л/с
	Соединение насоса	KF40
	Соединение выхлопа	KF16
	Измерение вакуума	Составной вакуумметр: Датчик сопротивления + ионизационный датчик
	Предельный вакум	1.0E-5Па
	Источник питания	AC:220В 50/60Гц